清潔度無(wú)塵室解決方案介紹

清潔度無(wú)塵實(shí)解決方案規(guī)劃布局

可根據(jù)不同的客戶要求進(jìn)行清潔度無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃布局：

清潔度無(wú)塵室解決方案整體規(guī)劃布局：

1.風(fēng)淋室、傳遞穿、可視玻璃窗

2.凈化結(jié)構(gòu)部分、凈化系統(tǒng)部分、配電系統(tǒng)

3.各個(gè)功能區(qū)域的劃分，例如：清洗制樣區(qū)域、顆粒分析區(qū)域、文件存放區(qū)域等

4.清潔度無(wú)塵室滿足ISO14644-2015、GB50073-2001等標(biāo)準(zhǔn)要求

清潔度無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室承建主要分為：

1.凈化結(jié)構(gòu)部分

2.凈化系統(tǒng)部分

3.配電部分

清潔度無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室主要?jiǎng)澐譃橐韵聨讉€(gè)區(qū)域：

1.員工更衣室區(qū)域

2.清洗制樣區(qū)域

3.樣品分析區(qū)域（稱重以及顆粒大小分析）

4.樣件傳遞區(qū)域

5.清洗液存放區(qū)域

6.文件存放區(qū)域

客戶現(xiàn)場(chǎng)提供220V電源，常規(guī)用水即可。

無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的*。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。